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Armario criogénico de gran altura para la industria de los chips

Con el armario criogénico de gran altura para la industria de los chips - Temperaturas precisas y  capacidad de sala blanca.

La cámara de ensayos de nuevo desarrollo está completamente realizada en acero inoxidable y, por tanto, es apta para sala blanca. La puerta automática permite cargar y descargar de manera eficiente el sistema. Existe una conexión con los Manufacturing Execution Systems (SECS/GEM) y con los sistemas Overhead Hoist Transfer . La detección de lotes se realiza mediante códigos QR, lo que permite una integración perfecta en procesos de producción existentes.

Nuestros puntos destacados:

  • Instalación en sala blanca (exterior, interior); clase ISO 5
  • Se pueden alcanzar -75 °C
  • Conexión a Manufacturing Execution System (SECS/GEM)
  • Conexión a Overhead Hoist Transfer System (puerta automática)
  • Detección de lotes mediante código QR

Incluido en el equipamiento básico:

  • Barrido con nitrógeno para generar una atmósfera inerte 
  • Dispositivo medidor de oxigeno 
  • Puerta de apertura automática 
  • Filtrado HEPA del aire de entrada 
  • Infrapresión constante en la parte mecánica para evitar la emisión de partículas

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