Sistemas de horno para la producción de semiconductores
Fiables, eficientes y sin silicona

La producción de semiconductores y componentes electrónicos implica muchas fases de proceso y suele plantear requisitos muy particulares a las condiciones del proceso. Para crearlas de manera segura y permanente, se requiere una tecnología perfectamente adaptada. Los hornos industriales de la marca vötschoven de Weiss Technik ayudan en la fase inicial y final a crear estas condiciones de forma repetible, fiable y económica.

Entrevista con la experta

Sabrina Radoske

Sales Manager Ophthalmic & Microelectronics

¿Qué tiene de especial la producción de semiconductores?
La producción de semiconductores es un proceso largo, complejo y muy delicado, con grandes exigencias de pureza y uniformidad. Para evitar defectos de calidad, la ausencia de silicona al comienzo y al final es absolutamente esencial en muchas fases del proceso. A medida que los centros de producción se vuelven más grandes, aumenta la necesidad de soluciones para automatizar los pasos de trabajo. Por eso es importante tener a la vista todos los parámetros en todo momento e intercambiar datos de forma segura a través de interfaces SECS/GEM.

¿Dónde y cómo apoya Weiss Technik la producción de semiconductores?
Como especialista experimentado en hornos industriales de alta calidad, desarrollamos sistemas que pueden utilizarse en diversos ámbitos. En la fase inicial, los hornos vötschoven pueden utilizarse para la selladura de vidrio, lo que se conoce como unión de frita de vidrio, en condiciones de sala blanca. También pueden utilizarse para ensayos de final de línea y para el secado de componentes de máquinas y cajas de transporte de obleas. Nuestros sistemas cumplen las condiciones de sala blanca hasta ISO 4.

¿Qué ventajas ofrece Weiss Technik a los usuarios?
Por un lado, son importantes nuestros muchos años de experiencia en salas blancas y en la industria, así como nuestros amplios conocimientos en el campo de la tecnología térmica. Por otro lado, Weiss Technik también puede aprovechar plenamente su experiencia en la integración de procesos y sistemas automatizados. Y tampoco hay que olvidar la red de servicio mundial de la que disponen muchos clientes, con técnicos competentes, procesos estandarizados y tiempos de respuesta cortos. Otra de las fortalezas de Weiss Technik es el desarrollo de soluciones a medida basadas en conceptos tecnológicos de eficacia probada.
 


Tratamiento térmico con vötschoven

Fiable, económico, flexible

En el campo de la tecnología térmica industrial, realizamos soluciones personalizadas e integradas dentro del proceso para las fases de proceso más exigentes. Los fabricantes de semiconductores se benefician de nuestros muchos años de experiencia en salas blancas y de nuestros conocimientos como especialistas en requisitos complejos.

Resumen de las ventajas para el cliente

  • Sistemas a medida
  • Procesos reproducibles
  • Servicio 24/7 en todo el mundo
  • Todo de un mismo proveedor
     

Descubra aquí más información sobre las salas blancas en la fabricación de semiconductores.


Horno de sala blanca para fase inicial (front end) del proceso

450 °C, compacto, sin silicona

Para el sellado de obleas MEMS con pasta de vidrio, estas se procesan en el horno con aire fresco filtrado. La rápida puesta en marcha de las rampas de proceso y el flujo de aire ideal contribuyen a la calidad requerida del producto. El horno se ha diseñado especialmente para la pasta de vidrio de conformidad con la norma EN 1539, de modo que los componentes inflamables puedan expulsarse en el horno. Los hornos de sala blanca VTF se pueden pedir con la opción de montaje mural. Para un espacio ocupado ideal en la sala blanca, la caja de distribución se puede sacar a la sala gris.

Resumen de las ventajas para el cliente

  • Hornos especiales para la unión de frita de vidrio
  • Fluctuación mínima de temperatura (440 °C a ±2K)
  • Ideal para salas blancas gracias a su reducido tamaño
  • Integración en pared de sala blanca
  • Ausencia de silicona a 440 °C
     

Horno de sala blanca para ensayos «end of line»

350 °C, automatizado y altamente flexible

Los hornos para ensayos «end of line» al 100 %, como el ensayo «data retention bake», se utilizan en la transición entre la fase inicial (front end) y la fase final (back end) y no deben contener silicona. Son indicados para temperaturas de hasta 350 °C y funcionan con diferentes gases inertes o aire fresco filtrado. Cumplen la clase de pureza ISO 7 a 5 y se pueden cargar de forma manual o automática.

Resumen de las ventajas para el cliente

  • Posibilidad de conducción flexible del aire
  • Horno de aire fresco, gas inerte o híbrido
  • Pureza ISO 7 a ISO 5
  • Diseño totalmente libre de silicona
  • Juntas refrigeradas en caso necesario
  • Para sistema de transporte de techo OHT o AGV
  • Alternativamente, también con carga manual
  • Interfaz SECS/GEM
     

Hornos de sala blanca para el secado

Para componentes y cajas de transporte de obleas

Para las piezas de máquinas que se utilizan en los equipos de la fase inicial del proceso (front end), son de suma importancia unas condiciones limpias y secas. Por ello, la limpieza y el secado de componentes y cajas de transporte contribuyen de manera decisiva a la calidad del producto. Los compactos hornos de sala blanca vötschlo hacen de forma fiable, con eficiencia energética y según los requisitos

Resumen de las ventajas:

  • Hornos de secado limpios, hasta 180 grados
  • Para grandes aplicaciones y muchos componentes
  • Ámbito de uso en sala blanca hasta ISO 4
  • Sensores de humedad integrados
  • Posibilidad de instalación lado a lado
  • Función de paso opcional
     

Interfaz SECS/GEM

Integración sencilla

La rastreabilidad de cada lote y cada paso del proceso es indispensable para garantizar la calidad en la producción de semiconductores. La enorme cantidad de datos generados en muchos pasos del proceso se intercambia mediante interfaces SECS/GEM. Los sistemas vötschoven están equipados con el sistema de control S!MPAC y el software S!MPATI propios de la empresa, que pueden ampliarse mediante una interfaz SECS/GEM.

Resumen de las ventajas:

  • Integración perfecta de los hornos en la red del cliente
  • Interfaz estándar para la producción de obleas
  • Interfaz personalizada para procesos manuales con código de barras o procesos automatizados de 300 mm
     

¿Le interesa? ¡Póngase en contacto con nosotros!

Si desea más información sobre nuestras soluciones para la industria de semiconductores, hable conmigo. Estaré encantado de asesorarle personalmente y nuestros especialistas desarrollarán una solución a la medida de sus necesidades.

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Sabrina Radoske

Sales Manager Ophthalmic & Microelectronics

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