Systèmes de fours pour la production de semi-conducteurs
Processus sûr, efficace et sans silicone

La production de semi-conducteurs et de composants électroniques passe par de nombreuses étapes de processus et, la plupart du temps, par des exigences très spécifiques en matière de conditions de processus. Pour les produire à tout moment et en toute sécurité, il faut une technique parfaitement adaptée. Les fours industriels de la marque vötschoven de Weiss Technik aident, en amont et en aval, à créer ces conditions de manière répétable, sûre et économique.

Entretien avec l'experte

Sabrina Radoske

Responsable des ventes ophtalmiques et microélectroniques

Quelle est la particularité de la production de semi-conducteurs ?
La production de semi-conducteurs est un processus long, complexe et très sensible, avec des exigences élevées en matière de pureté et d'uniformité. Pour éviter les défauts de qualité, l'absence de silicone dans le front-end et le back-end est impérative à de nombreuses étapes du processus. Avec des sites de production de plus en plus grands, le besoin de solutions pour automatiser les étapes de travail augmente. C'est pourquoi il est important d'avoir tous les paramètres sous les yeux à tout moment et d'échanger les données en toute sécurité via des interfaces SECS/GEM.

Où et comment Weiss Technik soutient-elle la production de semi-conducteurs ?
En tant que spécialiste expérimentée des fours industriels de haute qualité, nous développons des installations qui peuvent être utilisées à différents endroits. Sur le frontend, les fours vötschoven peuvent être utilisés pour la vitrification, appelée « glass-frit bonding », dans des conditions de salle blanche. En outre, ils peuvent être utilisés pour des tests End-Of-Line ainsi que pour le séchage de pièces de machines et de boîtes de transport de plaquettes. Nos installations remplissent les conditions de salle blanche jusqu'à ISO 4.

Quels avantages Weiss Technik offre-t-elle aux utilisateurs ?
D'une part, il est bien sûr important d'avoir une longue expérience des salles blanches et de l'industrie, et d'autre part, une grande compétence dans le domaine de la technologie thermique. De plus, Weiss Technik peut pleinement mettre à profit son expérience en matière d'intégration dans des processus et des installations automatisés. Pour de nombreux clients, il ne faut pas non plus oublier le réseau de service après-vente étendu au monde entier, avec des techniciens compétents, des processus standardisés et des temps de réaction courts. Un autre point fort de Weiss Technik est le développement de solutions individuelles basées sur des concepts technologiques éprouvés.
 


Traitement thermique avec vötschoven

Fiable, économique, flexible

Dans le domaine de la technique thermique industrielle, nous réalisons des solutions spécifiques aux clients, intégrées dans le processus, pour des étapes de processus exigeantes. Les fabricants de semi-conducteurs profitent notamment de notre longue expérience en matière de salles blanches et de notre savoir-faire en tant que spécialistes des exigences complexes.

Aperçu des avantages

  • Des installations sur mesure
  • Des processus reproductibles
  • Service mondial 24h/24 et 7j/7
  • Tout d'une seule source
     

Cliquez ici pour en savoir plus les salles blanches dans la production de semi-conducteurs.


Four de salle blanche pour front-end

450°C, compact, sans silicone

Pour sceller les plaquettes MEMS avec de la pâte de verre, celles-ci sont traitées dans un four avec de l'air frais filtré. Le démarrage rapide des rampes de processus et le flux d'air idéal contribuent à la qualité requise du produit. Le four a été conçu spécialement pour la pâte de verre selon la norme EN 1539, de sorte que les composants inflammables puissent être expulsés dans le four. Les fours pour salles blanches VTF peuvent être commandés avec l'option d'encastrement mural. Pour une empreinte idéale en salle blanche, le boîtier de commande peut être étendu dans la salle grise.

Aperçu des avantages

  • Fours spéciaux pour l’assemblage par verre frittéé
  • Variation de température minimale (440°C à ±2K)
  • Idéal pour les salles blanches grâce à une empreinte réduite
  • Intégration dans le mur de la salle blanche
  • Absence de silicone à 440°C
     

Four pour salle blanche pour des tests end-of-line

350°C, automatisé et très flexible

Les fours pour les tests 100% End-of-Line, comme le Data Retention Bake Test, sont utilisés dans la transition entre le front-end et le back-end et doivent fonctionner sans silicone. Ils sont adaptés à des températures allant jusqu'à 350°C et fonctionnent avec différents gaz de protection ou de l'air frais filtré. Ils répondent aux exigences de pureté des classes ISO 7 à 5 et peuvent être chargés manuellement ou automatiquement.

Aperçu des avantages

  • Possibilité de diriger l'air de manière flexible
  • Four à air frais, à gaz de protection ou hybride
  • Pureté ISO 7 à ISO 5
  • Conception entièrement sans silicone
  • Joints refroidis si nécessaire
  • Pour système de transport de ponts OHT ou AGV
  • Chargement manuel en alternative
  • Interface SECS/GEM
     

Fours pour salle blanche pour le séchage

Pour les composants et les boîtes de transport de wafers

Pour les pièces de machine utilisées dans l'équipement frontal, des conditions propres et sèches sont extrêmement importantes. C'est pourquoi le nettoyage et le séchage des composants et des boîtes de transport contribuent de manière décisive à la qualité du produit. Les fours pour salle blanche vötschoven sont fiables, efficaces sur le plan énergétique et adaptés aux besoins

Vos avantages en un coup d'œil :

  • Étuves pures, jusqu'à 180 degrés
  • Pour les grandes applications et les nombreux composants
  • Domaine d'utilisation en salle blanche jusqu'à ISO 4
  • Capteurs d'humidité intégrés
  • Installation side-by-side possible
  • Fonction de passe-plat en option
     

Interface SECS/GEM

Facile à intégrer

La traçabilité de chaque lot et de chaque étape du processus est indispensable à l'assurance qualité dans la production de semi-conducteurs. L'énorme quantité de données générées par les nombreuses étapes du processus est échangée via des interfaces SECS/GEM. vötschoven disposent de la commande interne S!MPAC et du logiciel S!MPATI, qui peuvent être complétés par une interface SECS/GEM.

Vos avantages en un coup d'œil :

  • Intégration parfaite des fours dans le réseau du client
  • Interface standard pour la production de wafers
  • Interface personnalisée pour les processus manuels avec code-barres ou les processus automatisés 300 mm
     

Intéressé(e) ? N'hésitez pas à nous contacter !

Si vous souhaitez en savoir plus sur nos solutions pour l'industrie des semi-conducteurs, n'hésitez pas à me contacter. Je vous conseille volontiers personnellement et développe avec nos spécialistes une solution individuelle pour vos exigences.

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Sabrina Radoske

Responsable des ventes pour l'ophtalmologie & Microelectronics

+49 6408 84 6520
[email protected]

 

 

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