Cryo-Hochschrank für die Chipindustrie

Mit dem Cryo-Hochschrank für die Chipindustrie - Präzise Temperaturen und Reinraumfähigkeit.

Der neu entwickelte Prüfschrank ist komplett in Edelstahl ausgeführt und somit reinraumfähig. Die automatische Tür ermöglicht eine effiziente Beladung und Entladung der Anlage. Eine Anbindung an Manufacturing Execution Systems (SECS/GEM) sowie an Overhead Hoist Transfer Systeme ist gegeben. Die Chargenerkennung erfolgt über QR-Codes, was eine nahtlose Integration in bestehende Produktionsprozesse ermöglicht.

Unsere Highlights:

• Aufstellung im Reinraum (außen, wie innen); Klasse ISO 5
• -75°C erreichbar
• Anbindung an Manufacturing Execution System (SECS/GEM)
• Anbindung an Overhead Hoist Transfer System (automatische Tür)
• Chargenerkennung über QR-Code

Enthalten in der Grundausstattung:

• Stickstoffspülung zur Erzeugung einer inerten Atmosphäre 
• Sauerstoffmesseinrichtung 
• Automatisch öffnende Tür 
• Hepa Filterung der Zuluft 
• Stetiger Unterdruck im Maschinenteil zur Vermeidung von Partikelemissione